Dutá katoda

Depoziční systém duté katody je založen na odprašování duté katody v reaktivní atmosféře pracovního plynu. Dutá katoda poskytuje vysoký stupeň ionizace a z tohoto důvodu dochází nejen k intenzivnímu odprašování katody, ale také k ionizaci reaktivního plynu a následnému zlepšení vlastností deponované vrstvy díky zvýšenému bombardu substrátu.

Samotná aktivní katoda je vyrobená z odprašovaného materiálu a je umístěná na konci elektricky izolovaného držáku. Na dutou katodu je přiveden výkon, který zajistí její odprašování. Kompletní proces depozice probíhá ve vakuové manipulační komoře, která představuje centrální část celého depozičního systému, zároveň umožňuje průhled do depozičního prostoru a jeho vizuální kontrolu.

Metoda využívá efektu reaktivního naprašování. Reaktivní naprašování tvrdých, antiabrazivních vrstev je založeno na precizním dávkování reaktivní příměsi do pracovního plynu. Toto precizní dávkování nám umožňuje zpětnovazební systém, který dovoluje potlačit nechtěný efekt „otrávené katody“ a zároveň dosáhnout požadované stoichiometrie deponované vrstvy. 

Výhodou duté katody je schopnost depozice materiálu i do dlouhých trubic (otvorů) s malým vnitřním průměrem. Deponovatelnost substrátu je vždy dána tvarovou složitostí a velikostí dílu.

Pomocí duté katody je možné nanášet samotné kovové vrstvy (T, Cr, Al, Zr, V, W, Fe, Ni a další), tvrdé a antiabrazivní materiály, tak i nitridy kovů (CrN, TiN, ZrN a další).